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美國 SEMI S2
             半導體工業的全球標準

SEMI 是什麼?
   SEMI( 半導體設備與材料的國際性組織 ) 是半導體工業的全球執行聯盟,成立於 1970 年,總部位於美國加州。

SEMI S2 意味著什麼?
   SEMI 之下的安全工作小組制定了一套適用於半導體及平面顯示器製造設備的環境、安全及健康的效能的標準,由此發展出 SEMI S2 國際安全指引的工業評估應用方式。符合 SEMI S2 不僅符合了國際相關規定,也是半導體產業的保險公司所要求的必要條件之一。

  SEMI S2 以效能考量為主,涵蓋半導體製造設備的環境、健康及安全條件。具體說來, SEMI S2 涉及電氣、機械、防火、化學、輻射、噪音和防震等各方面的安全領域。

  與其他 SEMI 指令,如 SEMI S8 (人體工學要求)和 SEMI S10 (風險評估)一起使用, SEMI S2 代表了半導體廠家的基本安全要求。

  半導體業者為了降低機械危害的風險,採取非常多類別的防制與管理措施,其中最典型的措施是在採購設備系統時,將 SEMI S2 安規認證列為必備的規格要求。

  易科在中國大陸,臺灣同時開展SEMI測試服務,以豐富的經驗幫助半導體廠商以最便捷的方式獲得認可。

SEMI 標準
                  SEMI Standards

E6- Facilities Interface Specifications Guideline and Format
F5- Guide for Gaseous Effluent Handling
F14- Guide for the Design of Gas Source Equipment Enclosures
F15- Test Method for Enclosures Using Sulfur Hexafluoride Tracer Gas and Gas Chromatography
S1- Safety Guideline for Visual Hazard Alerts
S2- Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment
S3- Safety Guidelines for Heated Chemical Baths
S4- Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets
S5- Safety Guideline for Flow Limiting Devices
S6- Safety Guideline for Ventilation
S7- Safety Guidelines for Environmental,Safety,and Health Evaluation of Semiconductor
  Manufacturing Equipment
S8- Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing
   Equipment 
S9- Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment
S10- Safety Guideline for Risk Assessment
S11- Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment
   Minienvironments
S12- Guidelines for Equipment Decontamination
S13- Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor
   Manufacturing Equipment
S14- Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing
   Equipment
S15- Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems
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